最先进的技术可以实现哪种典型的UPW品质？

目前达到的UPW质量相当于国际半导体发展路线图路线图对于UPW，在许多参数(TOC，金属，硼，硅…)

PPQ的杂质是今天合理的杂质吗？

PPQ（每千分之二的部分 - 分别是子PPT水平）在某些实验室和条件下检测越来越合理，特别是对于具有高性能ICP-MS的金属。对于所有其他污染，本领域的状态仍然是ppb的ppt水平。

启动水质对UPW的生产过程及其质量是否重要?

原水质量对UPW处理工艺的设计有不可忽视的影响。主要的影响来自原水中存在的特定有机分子及其变化，它们强烈而迅速地影响UPW中的TOC规格。这种典型的临界分子可以是尿素、三卤甲烷(DBPs)，或者一般来说，低极性分子量的有机物。

是否有一些关键的有机杂质对现有的处理过程至关重要，以便按照ITRS路线图实现TOC值?

事实上，过程设计只需要调整。最重要的因素是掌握尽可能多的原水成分信息，以及随时间和季节的变化。

UPW中的颗粒：是否有一些可能性来实现10nm尺寸范围内的最低粒子数？

由于半导体结构变得越来越小，颗粒（主要是纳米粒子）是最大的挑战。获得低粒子数和尺寸对于最佳的尺寸至关重要 - 在所有细节中 - UPW过程设计。选择实施合适的结构，液压设计和工艺组分（如在抛光部分等的高纯度离子交换树脂等）的选择对于确保颗粒也没有从这些材料中释放来的至关重要。UPW工厂的最后处理阶段主要是微滤和超滤，从而有效地去除存在的大部分微颗粒和纳米颗粒。目前，我们仅限于监测> 25-50nm范围内的在线粒子。未来，也许纳米过滤将在这里发挥作用，大问题是在线测量和监测这些纳米粒子的能力。在此之前，在线监测设备和膜流程需要改进和创新，以便遵循粒子尺寸的半导体趋势。一个大挑战。

什么是完整的UPW系统的典型水产量？

典型的总产量在90-95%之间

典型的UPW水费是多少(美元/加仑)?

根据公用事业价格和工厂的能力，US $ 2-3 / M3 UPW。