审查超纯水中的纳米颗粒:检测和控制的定义和目前算归

作者:Maria Pia Herrling,Philippe Rychen


超纯水(UPW)是电子制造的主要材料之一,因此需要监测纳米颗粒(NP)的关键参数。最先进的在线测量技术由小于10nm的杀手粒径的颗粒挑战。
由于NP检测中的不确定性,现在,UPW系统的NP源和下沉的识别是有限的。该审查文章旨在概述衡量检测和控制的当前发展和观点。将讨论以下主题:NP对UPW的一般定义的转移性,UPW系统中NP的最先进的粒子分析,源和下沉以及负责NP污染的主要颗粒相互作用。

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